【简介】赛默飞 Apreo ChemiSEM场发射扫描电镜将高分辨率电子成像、实时元素分析和智能自动化功能集成于同一平台，可快速完成样品微观形貌观察、元素识别及成分分布分析，适用于材料科学、半导体、能源、地质、冶金及科研检测等领域。

赛默飞 Apreo ChemiSEM场发射扫描电镜是一套面向材料表征和微区分析应用的高性能电子显微分析平台，将场发射扫描电子显微镜的高分辨率成像能力与实时化学成分分析功能相结合，可在观察样品微观形貌的同时获取元素组成和分布信息。

Apreo ChemiSEM采用肖特基场发射电子源，电子束加速电压范围为200V～30kV，能够满足从低电压表面成像到高束流元素分析等不同实验需求。Apreo S在15kV条件下分辨率可达0.5nm，在1kV条件下分辨率可达0.9nm，适合纳米材料、涂层、颗粒、金属断口和半导体器件等样品的精细观察。

系统配备自动聚焦、自动像散校正和智能成像功能，可减少复杂参数调整带来的操作难度。SFI智能成像功能能够根据样品和观察条件自动优化图像质量，提高不同操作人员之间的分析一致性。

通过TrueSight Pro能谱分析系统，设备可以在电子显微成像过程中实时显示元素组成和元素面分布，帮助用户快速定位感兴趣区域。系统还可选配TruePix电子背散射衍射系统，用于晶粒尺寸、晶体取向、物相分布及织构分析。

Apreo ChemiSEM支持Trinity探测系统、MAPS自动化大面积成像及CleanConnect样品转移方案。部分配置支持10～500Pa低真空观察及-4000V至+600V样品台偏压，可改善不导电样品、束流敏感样品和表面细节的观察效果。

主要应用包括金属与合金分析、陶瓷和复合材料研究、锂电池材料检测、催化剂表征、半导体失效分析、地质矿物分析、涂层检测、颗粒分析及生命科学样品观察。实际探测器、能谱、EBSD和真空配置可根据具体应用要求选择。

Apreo ChemiSEM场发射扫描电镜