【简介】在线椭偏仪仪器介绍：在镀膜或刻蚀的过程中，实时监测样品膜的膜厚以及光学常数（n,k）变化。技术参数：·可实现快速、实时在...

产品简介 在线椭偏仪仪器介绍：在镀膜或刻蚀的过程中，实时监测样品膜的膜厚以及光学常数（n,k）变化。技术参数：·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化 详情介绍 在线椭偏仪 仪器介绍 在镀膜或刻蚀的过程中，实时监测样品膜的膜厚以及光学常数（n,k）变化。 在线椭偏仪 技术参数 ·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化 主要特点 将激发和探测头引入生产设备，可实现: · 动态模式:实时监测膜厚变化 · 光谱模式：监测薄膜的界面和组分 上一篇： Ultima Expert高性能ICP光谱仪 下一篇： Smart SE智能型多功能椭偏仪

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